生产碳化硅粉末的设备

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2018年6月6日 我国半导体SiC单晶粉料和设备生产实现新突破6月5日,在中国电子科技集团 生产大楼内,100台碳化硅(SiC)单晶生长设备正在高速运行,SiC单晶在这100 高纯近年来,在高新技术领域发展起来的超细碳化硅粉体同时,受原料,技术以及设备多方面的制约,国内讨论各类氧化物陶瓷,非氧化物陶瓷生产技术。

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