多晶硅石墨底座处理

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石墨上多晶硅薄膜的制备及择优取向的调控百度学术施辉伟,陈诺夫,黄添懋-《微纳电子技术》-2010摘　要: 利用磁控溅射在石墨衬底上制备了非晶硅薄膜,并使用快速热退火对薄膜进行了晶化处理。分析表明,直接溅射沉积在石墨衬底上的硅薄膜经过快速热退火后具有高度的(.. 碳石墨材料的特性及其在单晶硅和多晶硅工业上的应用2014年10月31日-本报告,是在围绕半导体、光伏产业用(即电子工程用)石墨制品的品种、生产制造过程、产品性能、生产厂家、具体应用领域情况、市场规模及发展趋势等方面

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