单晶石英坩埚喷涂设备

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单晶硅生长用石英坩埚的两步制备法及装置 单晶硅生长用坩埚及其制造方法以及单晶硅的制造方法 具有双配料系统的单晶硅石英坩埚生产用表面喷涂设备 砷石英坩埚是拉制单晶硅的消耗性器皿,因为其是大规模集成电路的原材料,所以对石英坩埚的要求十分严苛,它的纯度和质量会直接影响单晶硅的产量和质量,主要

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