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国内等静压石墨研究与生产现状和发展趋势 国内等静压石墨研究与生产现状和发展趋势 摘要: 以冷等静压成型技术生产的等静压石墨是新型石墨材料, 由于实施硅片PECVD镀膜的器械除了设备外还需要一种支撑硅片的承载工具,管式PECVD采用石墨舟作为承载工具,板式PECVD则采用石墨框作为承载工具。 以管式机石墨舟为例,石墨舟

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