碳化硅的制造工艺与设备
5.5亿美元规模的SiC市场,有哪些机遇与挑战行业动态ROHM技术社区
2018年7月9日 随着以SiC和GaN为代表的宽禁带半导体材料（即第三代半导体材料）设备、制造工艺与器件物理的迅速发展,SiC和GaN基的电力电子器件逐渐成为
半导体科普五半导体材料、工艺和设备 知乎专栏
2018年7月2日 第三代半导体材料有氮化镓（GaN）,金刚石（也叫钻石）,碳化硅（SiC,也叫莫 实现以上工艺的设备有,氧化炉、光刻机、显影机、刻蚀机、镀膜机、注入机等等。 短波长的紫外线做光刻的曝光光源行啦,那么制造难点究竟在哪呢？
SiC器件定制 BASiC l 基本半导体碳化硅功率器件领军品牌
于碳化硅功率器件的研发与产业化,对碳化硅器件的材料制备、芯片设计、制造 根据客户的设计要求,整合基本半导体标准工艺模块,提供完整的器件定制工艺解决方案： 退火、高温氧化等全套工艺设备,提供完整的器件生产或部分工艺步骤定制；. ▷ 全生产流程可控,标准化的工艺模块,包括的碳化硅深沟槽刻蚀,栅氧工艺
全球碳化硅晶片的主要生产商之一 北京天科合达半导体股份有限公司
自行研发,设计制造了碳化硅晶体生长的设备,采用创新的技术路线实现碳化硅晶体生长 自行研发了碳化硅晶片加工的关键工艺技术：针对超硬的碳化硅,选取适当
我国半导体SiC单晶粉料和设备生产实现新突破半导体碳化硅材料_
2018年6月6日 台碳化硅（SiC）单晶生长设备正在高速运行,SiC单晶在这100台设备里" 粉料和单晶生长炉条件下,还需要对生产工艺进行设计、调试和优化。
中国研制成功世界口径单体碳化硅反射镜_吉林频道_凤凰网
2018年8月22日 成功世界上迄今公开报道的口径单体碳化硅(SiC)反射镜——直径4.03米口径高精度碳化硅非球面反射镜,并且核心制造设备以及制造工艺都
线切割用碳化硅新型干法生产工艺简介_粉体技术_粉体圈
针对这些问题,国内某些知名企业从国外引进了新型的线切割用碳化硅干法工艺生产线。该生产线的核心设备是高压辊磨机和在线式粒度控制系统。该生产线生产出的
我国半导体SiC单晶粉料和设备生产实现新突破半导体碳化硅材料_
2018年6月6日 台碳化硅（SiC）单晶生长设备正在高速运行,SiC单晶在这100台设备里" 粉料和单晶生长炉条件下,还需要对生产工艺进行设计、调试和优化。
碳化硅信息 技术 Littelfuse
医疗诊断与分析设备 · 医疗成像设备 · 便携医疗设备 · 电源设备 此外,这里还提供针对我们碳化硅产品的评估套件参考设计,以加快将来的设计周期。 动态表征平台 基于每个周期评估Littelfuse碳化硅器件的开关特性。 该视频介绍了我们的碳化硅技术投资历史以及使碳化硅成为电力电子领域主流应用的制造工艺创新。
时代电气6英寸碳化硅（SiC）产业化基地技术调试圆满完成_首页_手机端
2017年12月22日 12月10日,时代电气SiC产业化基地离子注入工艺设备技术调试完成,标志着SiC芯片 时代电气6英寸碳化硅（SiC）产业化基地技术调试圆满完成 的生产条件,可以实现4寸及6寸SiC SBD、PiN、MOSFET等器件的研发与制造。
我国碳化硅器件制造关键装备研发取得重大进展 国家科技部
2018年5月6日 以碳化硅（SiC）为代表的第三代半导体产业是全球战略竞争新的制高点。 同时,设备的销售价格可控制在同类进口设备的2/3以下,有力支撑了国内SiC 进行的器件制造工艺验证和生产数据表明,采用国产装备制造的SiC器件产品
Ferrotec全球 陶瓷产品 Ferrotec全球 Ferrotec Global
设备相关产品制造过程中不可或缺的设备 在半导体制造工艺以及其他领域中被广泛使用并且是具有高强度,高纯度,高耐热性等 气相沉积碳化硅产品（CVDSiC).
我国第三代半导体材料制造设备取得新突破 中国日报网 金融频道
2017年10月24日 通常,国际上把碳化硅（SiC）、氮化镓(GaN)等宽禁带半导体材料称之为第三代 方面性能尤为明显,由于第三代半导体材料的制造装备对设备真空度、高温 及其配套生长工艺的成功研发,有效促进了碳化硅衬底、外延、器件等制造
全球碳化硅晶片的主要生产商之一 北京天科合达半导体股份有限公司
自行研发,设计制造了碳化硅晶体生长的设备,采用创新的技术路线实现碳化硅晶体生长 自行研发了碳化硅晶片加工的关键工艺技术：针对超硬的碳化硅,选取适当
我国第三代半导体材料制造设备取得新突破
近日,863 计划先进制造技术领域"大尺寸SiC 材料与器件的制造设备与工艺技术 通常,国际上把碳化硅（SiC）、氮化镓（GaN）等宽禁带半导体材料称之为第三代半导.
4米量级高精度SiC非球面反射镜制造系统 中国科学院院刊
欧美国家在大口径SiC光学反射镜制造技术方面处于垄断地位,具有1.5 m量 镀膜的制造设备研制与制造工艺研究,形成了4 m量级高精度SiC非球面集成制造平台,
SiC器件定制 BASiC l 基本半导体碳化硅功率器件领军品牌
于碳化硅功率器件的研发与产业化,对碳化硅器件的材料制备、芯片设计、制造 根据客户的设计要求,整合基本半导体标准工艺模块,提供完整的器件定制工艺解决方案： 退火、高温氧化等全套工艺设备,提供完整的器件生产或部分工艺步骤定制；. ▷ 全生产流程可控,标准化的工艺模块,包括的碳化硅深沟槽刻蚀,栅氧工艺
2019上海国际硅业展览会
硅：金属硅、多晶硅、单晶硅、碳化硅、非晶硅、有机硅、硅粉、硅钙钡、硅铁、硅石、 高温硫化硅橡胶；硅橡胶及制品制造加工设备、仪器仪表：混炼,真空捏合机,开炼机, 硅业设备及工艺技术：全套生产线、铸锭炉、坩埚、生长炉、蚀刻设备、清洗设备、
碳化硅 北京世纪金光半导体有限公司
【金光炫技】 "世纪金光"碳化硅晶片划片裂片工艺再添新高！ 材料划裂片方案,引进国际上先进的SiC划片裂片设备,建立了国内条SiC晶圆划裂片量产生产线。
半导体科普五半导体材料、工艺和设备 知乎专栏
2018年7月2日 第三代半导体材料有氮化镓（GaN）,金刚石（也叫钻石）,碳化硅（SiC,也叫莫 实现以上工艺的设备有,氧化炉、光刻机、显影机、刻蚀机、镀膜机、注入机等等。 短波长的紫外线做光刻的曝光光源行啦,那么制造难点究竟在哪呢？
应用于半导体行业的特种石墨 SGL Group
碳化硅涂层石墨材料. 应用于 的材料,我们成为许多的原始设备制造商 半导体晶片. 碳化硅(SiC). Si. 单晶提拉. (CZ工艺). 衬底晶片. 半导体晶片. 硅(Si).
我国半导体SiC单晶粉料和设备生产实现新突破地方要闻区域创新
2018年6月5日 我国半导体SiC单晶粉料和设备生产实现新突破. 硅（SiC）单晶生长设备正在高速运行,碳化硅（SiC）单晶在这100台设备里"奋力"生长。 单晶,在具备高纯SiC粉料和单晶生长炉条件下,还需要对生产工艺进行设计、调试和优化。
生产工艺山东潍坊玻美玻璃仪器有限公司使用安全！选择"玻美"新型换
生产工艺. · 产品名称： 碳化硅换热器. · 产品详细介绍. 碳化硅换热器是一种利用碳化 碳化硅化学性能稳定、导热系数高、热膨胀系数小、制作的设备重量轻而强度高,
河北灵寿碳化硅微粉生产工艺 雷蒙磨粉机
整个碳化硅微粉生产工艺流程运行高效,物料在各个设备之间高效流通,人员操作方便,整条生产线的占地面积小,节省土地投资成本。公司为河北用户组建的碳化硅
碳化硅与氮化镓材料的同与不同 OFweek电子工程网
2018年8月16日 尽管如此,但碳化硅与氮化镓的产业难题仍待解决,如我国材料的制造工艺和质量并未达到世界,材料制造设备依赖于进口严重,碳化硅与氮化
